3D形貌儀（三維成像）能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。
形貌儀3D系統(tǒng)由臺(tái)架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成。系統(tǒng)控制單元控制探頭沿樣品表面移動(dòng)，以測(cè)量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根據(jù)需要設(shè)定參數(shù)，如探頭移動(dòng)的步長(zhǎng)，選擇、制定自己的測(cè)試模式，以使測(cè)量長(zhǎng)度、速度、路徑、分辨率達(dá)到*化。測(cè)試系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理能力非常強(qiáng)，可得到多種參數(shù)，包括形貌、粗糙度、坐標(biāo)尺寸等。同時(shí)有自動(dòng)控制能力，可以和超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合，如為微加工系統(tǒng)提供在線檢測(cè)，以隨時(shí)控制加工質(zhì)量。
3D形貌儀的啟動(dòng)四步驟說(shuō)明：
步驟1
先啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，然后開啟儀器。使用原廠默認(rèn)密碼登錄系統(tǒng)。
步驟2
約30s后，雙擊桌面上的3D圖標(biāo)，打開測(cè)試軟件。
步驟3
使用用戶名、密碼登錄測(cè)試軟件。出廠時(shí)的默認(rèn)用戶名和密碼參考說(shuō)明書，參照說(shuō)明書獲取用戶設(shè)置的更多信息。
步驟4
點(diǎn)擊OK，初始化Z軸。接著點(diǎn)擊OK，初始化XY載臺(tái)。
注意：Z軸和XY載臺(tái)即將移動(dòng)，請(qǐng)確認(rèn)沒有任何物體阻礙它們的運(yùn)動(dòng)路徑。請(qǐng)勿用手觸碰移動(dòng)部件。
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