形貌儀3D系統由臺架、控制系統、探頭、針尖組成。系統控制單元控制探頭沿樣品表面移動，以測量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根據需要設定參數，如探頭移動的步長，選擇、制定自己的測試模式，以使測量長度、速度、路徑、分辨率達到*化。測試系統的數據處理能力非常強，可得到多種參數，包括形貌、粗糙度、坐標尺寸等。同時有自動控制能力，可以和超精密微加工、微組裝系統組合，如為微加工系統提供在線檢測，以隨時控制加工質量。

　　3D形貌儀的啟動四步驟說明：

　　步驟1

　　先啟動計算機，然后開啟儀器。使用原廠默認密碼登錄系統。

　　步驟2

　　約30s后，雙擊桌面上的3D圖標，打開測試軟件。

　　步驟3

　　使用用戶名、密碼登錄測試軟件。出廠時的默認用戶名和密碼參考說明書，參照說明書獲取用戶設置的更多信息。

　　步驟4

　　點擊OK，初始化Z軸。接著點擊OK，初始化XY載臺。

　　注意：Z軸和XY載臺即將移動，請確認沒有任何物體阻礙它們的運動路徑。請勿用手觸碰移動部件。